硅的提纯方法，具不完全统计，有十几种，目前常用的方法为工业提纯法 。
工业制取高纯单晶硅的步骤如下：
1、首先由石英砂和焦炭在电弧炉中制取纯度较低的粗硅；
2、然后将粗硅转化为有挥发性并易提纯的四氯化硅或三氯氢硅；
3、再用精馏法提纯四氯化硅或三氯氢硅，在电炉中用氢气还原，得到纯度较高的硅；
4、最后用区域熔融法进一步提纯并制成高纯单晶硅 。

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