辉光放电是种低气压放电现象 ， 工作压力一般都低于10mbar ， 其基本构造是在封闭的容器内放置两个平行的电极板 ， 利用产生的电子将中性原子或分子激发 ， 而被激发的粒子由激发态降回基态时会以光的形式释放出能量 。
辉光放电是稀薄气体中的自激导电现象 。是由法拉第第一个发现 。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段 。辉光放电主要应用于氖稳压管、氦氖激光器等器件的制造 。用于污水处理、灭菌消毒、聚合物材料表面改性、分析仪器离子源等方面 。
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